10月16日，“反龙潭科学园区第三期扩建案自救会”爆料称，在与竹科管理局、台积电的三方会谈后，台积电已决定放弃在龙潭建1.4nm晶圆厂计划。
此前报道显示，主要为台积电2nm以下制程晶圆厂用地的竹科管理局规划龙潭科学园区扩建第三期计划，预计征收158.59公顷土地，提供约5,900个就业机会.
但因有88%为私人土地，引发当地居民组成“反龙潭科学园区第三期扩建案自救会”，并从10月初开始前往竹科管理局抗议，要求撤回扩建案。
“反龙潭科学园区第三期扩建案自救会”发文指出，竹科管理局、台积电及自救会三方代表进行会谈，会中台积电代表明确表示，对因龙潭科学园区第三期扩建案而引发的庞大社会争议，台积电深感不安，并认同龙潭在地乡亲爱护土地及家园的强烈情怀，决定放弃原本在扩建案内的设厂计划。
针对自救会发文内容，台积电本周正值法说会前的缄默期，并没有给予正面响应。但台积电此前有官方回应表示，台积电是科学园区土地的企业租户，园区规划为政府权责，尊重居民及主管机关，无法进一步评论。
竹科管理局表示，园区扩建是为引领中国台湾产业聚落升级，非为单一厂商征地，但将重新调整扩建范围，兼顾产业发展与民众权益，以达到双赢局面，并重新评价计划用地需求，听取及整合民众意见，评价调整扩建计划范围，尽最大努力兼顾民众权益，而原订10月举办的第二次公听会将延期。
原本龙潭科学园区第三期扩建案攸关台积电1.4nm晶圆厂设厂计划，原定2026年建厂，并将在2027年至2028年间量产.
依照目前来看，台积电龙潭设厂计划生变，后续就必须另觅新地电来建造1.4nm新厂。
